Гибридный 3D оптический профилометр SuperView WT3000
Гибридный 3D оптический профилометр серии Superview WT предназначен для субнанометровых измерений поверхностей различных прецизионных компонентов и материалов. Он объединяет эксплуатационные характеристики двух высокоточных 3D измерительных приборов — интерферометра белого света и конфокального микроскопа — и позволяет выполнять бесконтактное сканирование поверхности образцов с последующим восстановлением 3D изображения поверхности. При измерении сверхгладких и прозрачных поверхностей может использоваться режим интерферометрии белого света для получения высокоточных изображений без искажений и анализа таких параметров, как шероховатость. При измерении грубых поверхностей с резкими угловыми особенностями режим конфокальной микроскопии позволяет воссоздавать трехмерные изображения рельефа с большими углами, а обработка данных и анализ 3D изображений поверхности посредством программного обеспечения обеспечивают получение 2D и 3D параметров, отражающих качество поверхности.
Технические характеристики:
| Модель | SuperView WT3000 |
| Источник света | Светодиод белого света |
| Видеосистема | 1024x1024 |
| Интерферометрический объектив | 10X (2.5X, 5X, 20X, 100X опционально) |
| Конфокальные объективы | 10X, 50X (5X, 20X, 100X опционально) |
| Стандартное поле зрения | 1.2x1.2мм (при 10x) |
| Револьвера объективов | Моторизированная, на 5 объективов |
| Размер столика XY | 200×200мм |
| Рабочий ход столика XY | 100×100мм |
| Грузоподъемность столика XY | 10кг |
| Управление столиком XY | Моторизированное |
| Наклон столика XY | ±3° |
| Рабочий ход по оси Z | 100мм |
| Управление по оси Z | Моторизированное |
| Диапазон сканирования по оси Z | 10мм |
| Повторяемость топографии поверхности (STR) | 0.1нм (Интерферометрия белого света) |
| Повторяемость измерения шероховатости (RMS) | 0.005нм (Интерферометрия белого света) |
| Измерение высоты ступени | Точность: 0.5%; Повторяемость: 0.1% (1σ) |
| Вес системы | 50кг |
| Габариты (Д x Ш x В) | 440×330×700мм |
| Температура эксплуатации | 0°C - 30°C, изменение <2°C / час |
| Влажность эксплуатации | 5% - 95% RH, без конденсата |
| Вибрации | Уровень VC-C или лучше |
| Оценка шумов ПО (3σ) | ≤4нм |
| Требования к воздуху | 0.6МПа, без масла и воды, шланг 6мм |
| Питание | AC100-240В, 50/60Гц, 4А, 300Вт |
| Прочее | Отсутствие сильного магнитного поля и коррозионных газов |