Профилометр оптический 3D поверхности W5
W5 представляет собой передовой 5-осевой автоматический 3D оптический профилометр поверхности. Этот высокотехнологичный прибор предназначен для прецизионных измерений поверхности различных материалов и компонентов с субнанометровой точностью.
Оснащенный системой из 5 моторных осей (X, Y, Z и две оси наклона), профилометр обеспечивает автоматическое позиционирование и сканирование образцов сложной геометрии. Прибор сочетает в себе технологии интерферометрии белого света и конфокальной микроскопии, что позволяет проводить измерения как гладких, так и шероховатых поверхностей.
Благодаря автоматической системе изменения угла наклона (±5°) и вращения, W5 может измерять поверхности со сложным рельефом и крутыми углами без необходимости переустановки образца. Моторизованный столик размером 450×450 мм с ходом 300×300 мм обеспечивает измерение крупногабаритных образцов.
Технические характеристики:
| Модель | W5 |
| Источник света | Светодиод белого света |
| Видеосистема | 1024×1024 |
| Объектив | 10X, 20X |
| Поле зрения | 0.98×0.98 мм (при 10X) |
| Размер столика XY | 400×400 мм |
| Рабочий ход столика XY | 300×300 мм |
| Грузоподъемность столика | 20 кг |
| Управление столиком | Моторизованное |
| Наклон поворотного столика | ±90° |
| Вращение поворотного столика | 360° |
| Грузоподъемность поворотного столика | 10 кг |
| Управление поворотным столиком | Моторизованное |
| Рабочий ход по оси Z | 100 мм |
| Управление по оси Z | Моторизованное |
| Диапазон сканирования по Z | 10 мм |
| Разрешение по оси Z | 0.1 нм |
| Повторяемость шероховатости (RMS) | 0.005 нм |
| Точность измерения высоты ступени | 0.5% |
| Повторяемость измерения высоты ступени | 0.1% |
| Рабочая температура | 0~40°C (колебания <2°C/ч) |
| Рабочая влажность | ≤70% |