Щуп интерферометрии белого света WX100
Измерительные функции: Обеспечивает высокоточное Z-сканирование поверхности образца с получением 3D-изображения.
Аналитические функции: Позволяет получать 2D и 3D данные, включая шероховатость поверхности, микронные и наноразмерные контурные параметры.
Функции программирования: Поддерживает предварительную настройку шагов обработки и анализа данных, обеспечивая выполнение всего процесса от измерения до анализа в один клик.
Пакетный анализ: Возможность создания пользовательских шаблонов обработки и анализа данных в соответствии с требованиями заказчика, обеспечивает пакетный анализ однотипных параметров в один клик.
Технические характеристики:
| Модель | WX100 |
| Источник света | Светодиод белого света |
| Видеосистема | 1024×1024 |
| Объектив | 10X (опционально: 2.5X, 5X, 20X, 100X) |
| Поле зрения | 0.98×0.98 мм (при 10X) |
| Револьверная головка | Одногнездная / 3-гнездная ручная |
| Габариты | 230×200×380 мм |
| Наклон | ±2° (моторизованный) |
| Рабочий ход по оси Z | 30 мм |
| Диапазон сканирования по Z | 10 мм (зависит от объектива) |
| Разрешение по оси Z | 0.1 нм |
| Повторяемость шероховатости (RMS) | 0.01 нм |
| Точность измерения высоты ступени | 0.5% |
| Повторяемость измерения высоты ступени | 0.1% (1σ) |