Сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовым катодом KYKY EM6910
Благодаря более чем 60-летнему опыту производства СЭМ KYKY, вся серия EM поддерживает refurbished старых систем и customized system как SEM+, такие как Electron Beam Lithography remodel, LaB6 upgrade, integrated с STM, AFM, Heating Stage; Cryo Stage; Tensile Stage; Micro-nano manipulator и т.д. Система также имеет multiple interface на камере для присоединения большинства analysis detector на рынке.
Серия EM69 scanning electron microscope с excellent imaging, wide range of expansion attachments, optional low vacuum modules, и rich automation functions, various possibility of customization.
Опциональные модули низковакуумного режима (LVSE, LVBSE)
Расширенные функции автоматизации
Возможность кастомизации колонны/камеры/электрической системы
Опциональная камера большого размера
Широкопольная навигационная камера
Богатый выбор дополнительных аксессуаров и расширений
Технические характеристики:
| Модель | EM6910 Tungsten Filament SEM |
| Разрешение | SE: 3 нм при 30 кВ, 8 нм при 3 кВ; BSE: 4 нм при 30 кВ |
| Увеличение |
1x-450000x |
| Электронная пушка | Предварительно юстированная вольфрамовая нить |
| Ускоряющее напряжение | 0.2кВ-30кВ |
| Вакуумная система |
Турбомолекулярный насос + механический насос |
| Диафрагма объектива |
Молибденовая апертура с регулировкой вне вакуумной системы |
| Тип столика |
Пятиосевой столик |
| Параметры образца |
Максимальный диаметр: Ø175 мм |
| Детекторы |
Детектор вторичных электронов, |
| Модификации |
Апгрейд столика; Электронно-лучевая литография; СТМ; АСМ; Нагревательный столик; Криостолик; Растягивающий столик; Микро-наноманипулятор; СЭМ+Напылитель; СЭМ+Лазер |
| Аксессуары |
LaB6, Рентгеновский детектор (EDS), EBSD, CL, WDS, Установка напыления |
| Функция низкого вакуума |
Уровень вакуума 10-270 Па, |