Высокоразрешающий сканирующий электронный микроскоп KYKY EM8100
KYKY-EM8100 — высокоразрешающий автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп с новой электронно-оптической схемой, включающей технологию ускорения в колонне и низкоаберрационную коническую объективную линзу. Он обеспечивает съёмку с субнанометровым разрешением при низком напряжении, обладает широкой применимостью для различных материалов и удовлетворяет требованиям научных исследований и промышленности.
Благодаря более чем 60-летнему опыту производства СЭМ под маркой KYKY, вся серия EM поддерживает модернизацию старых систем и индивидуальные решения (SEM+), такие как:
-
Переоборудование для электронно-лучевой литографии;
-
Переоборудование для фокусированного ионного пучка;
-
Интеграция с СТМ, АСМ;
-
Нагревательный, криогенный, растягивающий столики;
-
Микро-наноманипуляторы и др.
Система имеет множество портов в камере для подключения большинства аналитических детекторов, представленных на рынке.
Технические характеристики:
| Разрешение | SE: 0,9 нм при 30 кВ; 3 нм при 1 кВ |
| Увеличение |
Электронное: 1x-3 000 000x
|
| Электронная пушка | Термоавтоэмиссионная (Шоттки) |
| Ускоряющее напряжение | 0,2-30 кВ |
| Вакуумная система |
1 ионно-распылительный насос |
| Детекторы (базовая комплектация) |
Детектор вторичных электронов (ВЭ) для высокого вакуума |
| Образцовый столик |
Пятиосевой автоматический столик для крупных образцов:
|
| Параметры образца |
Максимальный диаметр: Ø320 мм |
| Опциональные аксессуары |
EDS/EBSD/STEM/CL |